2024年11月19日，第十屆國際第三代半導(dǎo)體論壇（IFWS）開幕式上，第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟（CASA）正式發(fā)布了9項關(guān)于SiC MOSFET測試與可靠性標(biāo)準(zhǔn)。這一系列標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)布，標(biāo)志著我國在SiC功率器件的測試與評估領(lǐng)域邁出了堅實的一步，將為推動產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供強(qiáng)有力的支撐。閱芯科技作為主要起草單位之一，深度參與了其中兩項標(biāo)準(zhǔn)的制定工作。

SiC（碳化硅）以其卓越的物理和化學(xué)特性，在電力電子領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大潛力。SiC MOSFET作為SiC功率器件的核心，其性能的提升對電力電子系統(tǒng)的發(fā)展至關(guān)重要。此前，SiC MOSFET的測試與評估一直缺乏統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)，這在一定程度上制約了產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。

此次發(fā)布的新標(biāo)準(zhǔn)覆蓋了SiC MOSFET的關(guān)鍵性能指標(biāo)，包括閾值電壓、開關(guān)動態(tài)特性和可靠性等，為SiC MOSFET功率器件提供了一套科學(xué)、合理的測試與評估方法。這將有助于提升產(chǎn)品性能，推動技術(shù)創(chuàng)新，進(jìn)一步加速第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

作為行業(yè)先鋒，我們榮幸地參與了以下兩項重要標(biāo)準(zhǔn)的制定工作：

● T/CASAS 021—2024 SiC MOSFET閾值電壓測試方法

● T/CASAS 033—2024 SiC MOSFET功率器件開關(guān)動態(tài)測試方法

這些標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)布，不僅彰顯了閱芯科技在第三代半導(dǎo)體測試裝備領(lǐng)域的技術(shù)實力，也體現(xiàn)了公司對功率半導(dǎo)體未來發(fā)展的深度思考和布局。

未來，閱芯科技將繼續(xù)深耕半導(dǎo)體功率器件檢測領(lǐng)域，以專業(yè)實力和創(chuàng)新精神，為客戶提供更加優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。同時，我們也將積極與產(chǎn)業(yè)界各方合作，共同推動第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)化、規(guī)范化和高質(zhì)量發(fā)展。

 // 閱芯科技功率器件動靜態(tài)特性智能測試系統(tǒng) 

            AVATAR-D（全自動）

• 雙脈沖（開通、關(guān)斷及反向恢復(fù)特性）、多脈沖、SCSOA（SC1/SC2）、RBSOA、UIS，一臺設(shè)備可實現(xiàn)所有類型的動態(tài)特性測試；

• 雙脈沖電壓電流范圍為5kV/20kA，短路電流最大到30kA；

• IGBT/SiC MOSFET/Diode等器件，DBC級和模塊級；

• 支持半自動和全自動測試，適合量產(chǎn)和實驗室測試；

• 支持各種IGBT和SiC模塊封裝和拓?fù)漕愋彤a(chǎn)品，如單管、半橋、全橋、三相橋、三電平、IPM等，可支持4組半橋拓?fù)鋯卧袚Q測試；

• 16路4線制SMU，16路I/O，128路繼電器驅(qū)動，快速拓展不同功能；

• 過流保護(hù)時間＜3μs；

• 極低的主回路雜散電感，最小＜13nH（不包含器件雜感）；

• 支持模塊高/低溫測試，溫控范圍：-55℃~200℃；

• DBC測試：支持抽真空充高壓氮?dú)?，防氧化、防打火?/p>

• 支持Vth/ICES/開爾文接觸測試；

• 八個測量通道，單次測量可獲得IGBT及續(xù)流二極管的電流電壓波形；

• 高UPH。

          AVATAR-S（全自動）

• 擊穿電壓、漏電流、閾值電壓（可兼容JEP183 VT測試方法）、導(dǎo)通壓降、導(dǎo)通電阻、柵漏電、Gfs、Vp、Ciss/Coss/Crss/Rg、Kelvin測試等；

• 最大測試電流能力：12kA，最大測試電壓能力：10kV；

• 溫控范圍：-55℃ - 200℃，可同時具備低溫和高溫測試能力；

• 支持各種IGBT和SiC模組封裝和拓?fù)漕愋彤a(chǎn)品，如單管、半橋、全橋、三相橋、三電平、IPM等，最多可支持18個IGBT自動切換測試；

• CP測試：8kV/200A；

• DBC/AMB測試：可支持抽真空充高壓氮?dú)?，防氧化、防打火?/p>

• 支持SECSGEM通訊協(xié)議。

關(guān)于閱芯科技

閱芯科技是一家專業(yè)從事半導(dǎo)體功率器件檢測裝備自主研發(fā)、制造的高新技術(shù)企業(yè)，公司產(chǎn)品豐富，涵蓋環(huán)境壽命類(HTXB、HAST、H3TXB)、參數(shù)測試類(動態(tài)、靜態(tài)、絕緣耐壓)、功率循環(huán)類(PCmin、PCsec)、應(yīng)用測試類(無功老化、老化)等功率器件檢測設(shè)備。

公司產(chǎn)品以其高度集成化、可定制化、模塊化的優(yōu)勢，服務(wù)超過100+知名半導(dǎo)體功率器件設(shè)計、制造、封裝、第三方檢測及高校研究所等單位。公司核心團(tuán)隊匯集了中國科學(xué)院、國外知名半導(dǎo)體企業(yè)、海外業(yè)內(nèi)專家等一系列優(yōu)秀人才，擁有知識產(chǎn)權(quán)130余項，并通過國家ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證。榮獲國家級專精特新“小巨人”企業(yè)、瞪羚企業(yè)認(rèn)定。

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